横向灵敏度

来源：赛斯维传感器网 发表于 2010/3/15

　　横向灵敏度所涉及的是在加速度计非测量轴方向的振动而造成的输出。凡是此类影响都视为灵敏度误差，并用占设计灵敏度的百分比来描述。基本上造成这种情况是由于传感器本身及其制造过程。

　　对于一般的汽车安全应用，要求<=3%，而对于更加苛刻的要求，有的需要<=1%。举个例子来说，如安装三支单轴产品在一个安装模块上，并装配在假人的头部。由于车祸造成人员年死亡数量比自然死亡还要多，而且70%是这种头部受创，因此头部准确信息的要点收集工作就显得至关重要了。

　　造成横向灵敏度指标<=1%的加速度计的成本很高的原因主要有以下三点：生产所需的很多部件需严格控制以保证生产公差要求；需要高水平的技术工人来保证敏感元件安装精确；根据经验，严格认证来挑选成品所造成的废品率影响。
MEAS传感器的64型加速度计为了最大程度降低横向灵敏度的影响而特殊设计的，专用于汽车安全市场。先进的压阻MEMS感应元件保证了极低的偏差。全桥结构，并有补偿电阻在0～50度区间进行span（跨度）和零点修正。 内置气体阻尼，保证了极好的抗冲击能力及平坦的频率响应。尺寸安装等也符合SAEJ211的假人碰撞规范。

　　64型产品的优化简单设计则不需要如此过分严格的公差要求或极高水平的技术工人。（注：1度的安装误差会导致1.74%横向灵敏度误差）。另外，我们的生产过程有标准的产品检验流程控制，并严格保证这个指标的标定。

　　MEAS专门为碰撞加速度计而设计的标定设备，初步基于声学测量原理，激励器对被测件（UUT）产生7g，13Hz的正弦振动。振动相对来说比较剧烈，且振幅也比较大。

　　首先，被测件的灵敏轴与7g正弦振动相同，这样是为了下一步以满量程输出百分比方式标定横向灵敏度而现作的标准化动作。

　　然后，被测件改变安装方向，正交于灵敏度方向，激励不变。振动过程中，被测件在此正交面中转动，而所采集的数据是横向灵敏度的最大值。

　　此测量方法的好处是动态测量且采集了灵敏轴正交面内各个方向的数据。

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