湿度传感技术是至关重要的一个广泛的应用程序,包括暖通空调和制冷;医疗设备,如CPAP机和呼吸机;资产跟踪和存储设备的食品和制药行业;工业控制系统;气象仪器;汽车气候控制和除雾;和移动计算设备。尽管行业的数量和应用程序需要它,相对湿度(RH)测量中更艰难的技术挑战在环境遥感。

　　准确的湿度测量是一个重要的一部分控制湿度,以防损坏,不适,或来探测这个事件可能造成产品损坏在存储或过境。对于广泛使用,RH传感必须可以在组件形式,使容易,具有成本效益的整合与电子控制。

　　技术测量湿度

　　湿度可以被量化在许多方面,但最重要的测量对维持大气质量相对湿度(RH)。这是比实际的水蒸气存在于空气的水量存在于饱和空气,它不能吸收更多的水分。绝对湿度被定义为大众的水蒸气溶解在一个潮湿的空气的总量在给定的温度和压力。

　　电子湿度传感技术

　　电子湿度传感器克服许多大小和成本问题,瘟疫老技术。最普遍采用的技术要么靠在一个变化的阻力或电容吸附材料。一个电容传感器由两个电极,一个介电材料。通常,随着空气中水汽含量增加,传感器的介电常数的增加,改变测量电容对应湿度水平。一个电阻传感器由两个电极,一个导电层。在这种情况下,在湿度变化导致的导电性变化遥感层。

　　新技术来制造薄膜使这些类型的相对湿度传感器准确、稳定、容易大量生产。选择吸湿材料保证快速响应时间与小滞后。例如,一个聚酰亚胺薄膜,可以制造于不同厚度的<5µm变化的反应,可以在<10年代湿度,同时提供优良的稳定性。一个电子RH的准确性传感器受限于它的漂移随着时间的推移,通常很大的变化引起的温度和湿度或污染物的存在。

　　提高测量的准确性RH,它也有助于测量温度提供温度补偿的RH测量设备如有必要。确定露点或绝对湿度,空气温度也是必需的。例如,一个1°C误差测量温度会产生大约1°C误差在露点计算。最好的准确性、湿度和温度的测量应该被尽可能接近对方,理想情况下共存于同一芯片。这种接近很难实现与许多传统电子传感器的设计。

　　当今的许多电子传感器设计使用离散电阻和电容式传感器,混合动力车,和多芯片模块(反水雷舰),如图3所示。这些遗留方法遭受高的BOM成本和组件计数,大脚印,需要劳动密集型的客户校准。另一个问题是离散传感器解决方案常常不符合标准的表面组装技术(SMT)组装流动。

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