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刨根问底:MEMS传感器特性大比拼(二)
来源:赛斯维传感器网 发表于 2012/12/5

  加速度传感器

  加速度传感器的原理是用弹簧支撑的纺锤随着加速度而运动,将这种运动和纺锤体之间的容量值的变化以电气形式检测出来。村田用了4个纺锤的独特结构才实现此功能。对于使用了4个纺锤所测量出的X、Y、Z3个轴的加速度情报,可以得到其中一个自由度最大的情报。通过这个自由度可实现平时的自我诊断功能。因此,高信赖性已经成为必要的车载传感器的必要条件。
                   
 
                    图2:加速度传感器

        

                   图3:加速度传感器元件的结构


           
                   图4:加速度传感器的特性图

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