- 东北师范大学在气体传感器研究领域取得重要进展
- 来源:赛斯维传感器网 发表于 2013/5/24
近期,东北师范大学物理学院刘益春教授研究团队汤庆鑫教授课题组在气体传感器研究领域取得重要进展,构筑了一种新型的具有高灵敏度、低检测下限、快速响应及完全恢复特性的室温工作的SO2传感器。
在气体传感器研究领域,通过廉价的半导体传感器检测低浓度的SO2一直存在着很大挑战。该课题组利用场效应晶体管电流集中在极薄导电沟道层的特点,采用新型空气间隙绝缘层酞菁铜微纳单晶场效应晶体管作为SO2传感器,将场效应晶体管最敏感的导电沟道层直接暴露于SO2中,在国际上首次实现了0.5 ppm量级SO2的半导体器件室温高灵敏检测,分辨率达100 ppb,可满足SO2测试实用化的要求,为新型实用化SO2传感器研究提供了全新的思路。
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