随着汽车电子、消费电子和医疗电子等行业的快速发展，市场对传感器的需求呈现出快速增长的态势。随着感应接口的需求不断增加，消费领域对MEMS传感器需求也不断增长，智能手机和汽车领域对MEMS传感器的需求也在不断增大，这也将成长出越来越多的MEMS厂商，给MEMS市场带来更加激励的竞争和技术的不断改进和提升。

　　在这些背景下，MEMS传感器技术得到了快速的发展。与传统的传感器技术相比，MEMS技术生产的传感器的特点是体积小、重量轻、成本低、能耗低、可靠性高、易于批量生产、智能化高。现在正处于高速发展期MEMS技术在未来的发展主要表现在以下几个方面：

　　第一，微型化的同时降低功耗，将会出现微米甚至纳米级别的微型器件，同时功耗不断降低；

　　第二，微型化的同时提高精度，如：将MEMS加速度传感器做到石英加速度传感器的噪声特性，保证MEMS陀螺仪小体积的同时获得光纤陀螺仪的零偏稳定性，且可提供远优于光纤陀螺仪的抗冲击特性；

　　 第三，集成化及智能化趋势，即MEMS传感器与IC的集成制造技术及多参量MEMS传感器的集成制造技术得到发展，以及在集成化基础上使得信号检测具有一定的自动化。

　　这些趋势要求半导体厂商提供更高精度、稳定性更好、更智能的高集成度MEMS传感器模块。例如，手机设备日渐趋向于使用组合传感器，单一的加速度传感器市场正在减小。小型器件的需求强劲，部分原因源于低端智能手机对6轴电子罗盘的需求增长。现在6轴惯性测量单元（IMU）的需求非常强烈，9轴组合传感器的需求也将在未来几年内上来，这些来自消费领域的推动力迫使MEMS厂商采取新的策略，不断提高传感器的集成度。

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