1、压阻式压力传感器的工作原理

　　压阻式压力传感器是由平面应变传感器发展起来的一种新型压力传感器。它以硅片作为弹性敏感元件，任该膜片上用集成电路扩散工艺制成四个等值导体电阻，组成惠斯登电矫，当膜片受力后、由于半导体的压阻效应．电阻值发生变化，使电桥输出而测得压力的变化，利用这种方法制成的压力传感器叫压阻式压力传感器。

　　相似于电阻应变式传感器　

　　其中

　　金属电阻应变片的灵敏度系数主要利用 的应变效应，而半导体应变片主要利用电阻率 的变化，这就是压阻式压力传感器的基本原理，它是利用压阻效应的结果。


　　2、压阻式压力传感器的特点      

　　结构简单、可微型化。

　　压阻式压力传感器的优点：

　　可测高频
　　灵感度高
　　精度高
　　受温度影响大

　　压阻式压力传感器的缺点：      

　　量程小
　　不耐腐蚀
　　工艺复杂

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